HD系列不鏽鋼PVD塗佈機
弧
✔ 優化等離子體陽極以提高薄膜性能
✔ 等離子輔助供電、靶材利用率高、成本更低
✔ 快速更換陰極磁場，相容於不同的塗層材料
✔ 隱藏式起弧結構，可更換且易於維護
HiPIMS&DCMS
✔ 多種濺鍍模式滿足了更多材料的需求。
✔ 高電離率和高沉積率同時存在
✔ 水滴減少，表面更光滑
✔ 內部應力低，黏合性更好
✔ 更容易調和薄膜硬度和應力調整之間的矛盾
| 姓名 | 範圍 |
|---|---|
| 塗層技術 | 全新複合塗層技術 |
| 蝕刻 | 側向離子源（熱絲） |
| 多弧源（數量） | 長3750*寬2400*高2500 |
| 磁控管陰極（數量） | 6 |
| 設備尺寸（毫米） | 1 |
| 腔室容積（立方公尺） | 1 |
| 有效塗層面積（毫米） | Φ650 × 400 |
| 最高工作溫度（℃） | 600℃ |
| 承載力（樹木數量） | 10 |
| 插件的承載能力（APMT1135） | 12000件 |
| 鑽頭裝載能力（D4*50L） | 3600件 |
| 最大載重（公斤） | 300 |
| 軸徑 | F130 |
| 處理時間 | AlTiN：6~8小時 |
案例 1：碳鋼 (P20) 銑削
| （工具資料）：OMPQ-4E-100 |
| （工件）P20 HRC32 |
| 切割數據 加工：
|
|
| 資料來源：終端實驗室 |
HLM300 配戴300分鐘
競爭對手 220 分鐘穿戴
案例 1：碳鋼 (P20) 銑削
| 切削刀具：D6R3*9*50*d6 |
| 工件：S136（52HRC） |
| 條件：底部銑削
|
| 測試結果：
|
| 資料來源：華生實驗室 |
360分鐘側向磨損（23μm）HDR
