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TLC系列-陽極層離子源塗覆機

TLC系列陽極層離子源鍍膜設備整合了先進的磁控濺鍍(MS)和陽極層離子源技術,可實現高品質的薄膜沉積,性能卓越。此陽極層離子源是一種結構簡單、離子束流大、穩定性高的冷陰極氣體離子源,廣泛應用於離子束輔助沉積、表面清洗和薄膜緻密化等領域。

該設備透過在沉積過程中精確控制離子能量,顯著提高了塗層的附著力、均勻性和緻密性。其主要應用之一是沉積類鑽石碳(DLC)塗層,以其低內應力、高硬度、優異的耐磨性和低摩擦係數而聞名。

這些特性使得類鑽碳(DLC)塗層成為汽車零件、精密工具、醫療器材和航空航太零件的理想選擇。 TLC系列塗層還支援多種其他材料,為不同的工業應用提供靈活的解決方案。憑藉高效的製程控制和環境友善性,TLC系列塗層為高性能表面工程提供了一個可靠且經濟高效的平台。

    產品優勢

    磁控濺鍍和陽極層離子源

    含氫類鑽碳塗層

    高硬度和耐磨性

    沉積溫度可低至100°C

    產品特性

    • 產品特性
      陽極層離子源用於電離含碳氣體並沉積aC:H塗層。
    • 產品特性
      可沉積DLC、CrN、WC、W-DLC和其他塗層。
    • 產品特性
      沉積溫度較低,最低為100℃,且基板較寬。
    • 產品特性
      表面光滑,不會改變產品粗糙度。
    • 產品特性
      纖毛蟲具有高硬度和低摩擦係數
    薄層色譜法(1)

    產品參數

    特性 TLC800
    塗層技術 磁控濺鍍和陽極層離子源
    塗層類型 Cr/WCC/DLC
    蝕刻 WET側向熱絲蝕刻
    MS陰極(量) 2
    陽極層離子源(數量) 2
    設備尺寸(毫米) 長*寬*高:3000*2200*2600
    體積(立方米) 0.7
    有效塗層面積(mm) Ф650*400
    最高工作溫度(℃) 350℃
    功率(kW) 100
    容量(樹木數量) 按需製作
    最大載重(公斤) 500
    主軸直徑(毫米) 最大Ф250
    處理時間(小時) DLC:15~20
    薄層色譜法(3)
    特性 TLC1500
    塗層技術 磁控濺鍍和陽極層離子源
    塗層類型 Cr/WCC/DLC
    蝕刻 WET側向熱絲蝕刻
    MS陰極(量) 2
    陽極層離子源(數量) 2
    設備尺寸(毫米) 長*寬*高:3400*2750*2600
    體積(立方米) 1.5
    有效塗層面積(mm) Ф940*900
    最高工作溫度(℃) 350℃
    功率(kW) 120
    容量(樹木數量) 按需製作
    最大載重(公斤) 1000
    主軸直徑(毫米) 最大Ф300
    處理時間(小時) DLC:15~20
    薄層色譜法(2)

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